微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)能夠沉積高質量的SiO2,Si3N4,或DLC薄膜到z大可達6”直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來產生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢.樣品臺可以通過RF或脈沖DC產生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5cfm的機械泵，腔體可以達到低至10-7torr的真空。標準配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無論是等離子強度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份，這樣系統(tǒng)可以覆蓋z廣的可能性來獲得各種沉積參數(shù)。
微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)應用：
等離子誘導表面改性：就是通常所說的用等離子實現(xiàn)表面改性(如親水性、疏水性等)
等離子清洗：去除有機污染物
等離子聚合：對材料表面產生聚合反應
沉積二氧化硅、氮化硅、DLC(類金剛石)，以及其它薄膜
CNT(碳納米管)和石墨烯的選擇性生長：在需要的位置生長CNT或石墨烯。
微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)特點：
立式系統(tǒng)
自動上下載片，帶預真空鎖
不銹鋼或鋁制腔體
極限真空可達10-7Torr
RF淋浴頭，HCD或微波等離子源
高達6”(150mm)直徑的樣品臺
RF射頻偏壓樣品臺
水冷樣品臺
可加熱到的800°C樣品臺
加熱的氣體管路
加熱的液體傳送單元
抗腐蝕的渦輪分子泵組
z大可支持到8MFC
基于LabView軟件的PC計算機全自動控制
菜單驅動，4級密碼訪問保護
完整的安全聯(lián)鎖
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更新時間：2020-11-24 
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